Kim, B: Mikromechanische Gas- und Biosensoren

von Byong-Hak Kim

Die Identifizierung von wenigen oder einzelnen Molekülen in Gasen oder Flüssigkeiten stößt sowohl in der Forschung als auch in der Industrie auf ein reges Interesse. Insbesondere besteht noch Bedarf an Sensoren, die für Miniaturisierung und Parallelisierung geeignet sind. Ein vielversprechender Ansatz hierfür ist der Einsatz von mikromechanischen Strukturen. Wie zuverlässig und leistungsfähig sind aber die mikromechanischen Strukturen in der molekularen Sensorik ? Wie kann ihr Einsatz optimiert werden ? Zur Klärung dieser Fragen untersucht der Autor Byong-Hak Kim im ersten praktischen Teil des Buches Mikrobalken, sogenannte Cantilever, als massensensitive Transducer in Gassensoren. Um die Resonanzfrequenz und damit die Massensensibilität des Resonators zu erhöhen, wurden im zweiten Teil beidseitig eingespannte Mikrobrücken realisiert. Im Teil drei wurden Cantilever überprüft auf ihr Einsatzpotential für Nachweis von biomolekularen Objekten unter physiologisch relevanten Bedingungen. Das Buch richtet sich an Studierende, Naturwissenschaftler, Entwickler und Forscher in akademischen Einrichtungen oder industriellen Entwicklungsabteilungen, die in der Mikrosystemtechnik tätig sind.